[求助]碱性蚀刻问题请教！

ghostermen · 发表于 2006-9-15 17:39:00

蚀刻速度慢，蚀残很严重（把线路蚀成锯齿行），掉油（干湿都掉），母液有点粘稠，偏蓝，PH 8.1 Cu2+ 151g/l CL- 170 问题很急怎么解决？请高手指教下谢谢！

QC说就是狗牙状，他们厂家说是我们蚀刻药水问题，我什么都调了，还是有，我对前面的工艺不是很熟悉，各位大哥能指导下小弟到哪个地方找问题吗？还不搞定我会被***的[em04]，帮帮忙啊

[此贴子已经被作者于2006-9-15 18:09:15编辑过]

hnyxcgly · 发表于 2006-9-15 20:29:00

如果是狗牙状可能是由于前工序曝光曝光或显影出了问题。

kindwolf · 发表于 2006-9-18 16:21:00

狗牙状一般是显影过度造成的, 跟蚀刻关系不大.

fwj19840627 · 发表于 2006-9-29 09:55:00

是不是Cl离子浓度太低了,蚀刻速度太慢.重工造成犬牙状残铜

ding2006 · 发表于 2006-9-29 21:17:00

朋友：你的PH值是不是太低啦（8.2-8.8），一般锡板PH值控制偏高点要好。氯离子也偏低，一般是170-220g/L。槽液粘稠的话，可多排放点母液以增加药水的流动性。

vast031 · 发表于 2006-9-30 09:23:00

5楼正解

haha00 · 发表于 2008-8-26 12:27:00

以前也碰到过,是曝光不良造成的

西門飄雪 · 发表于 2008-9-1 16:19:00

狗牙状的應該為前制程顯影過度導致。

至于蝕刻速率底﹐你可以嘗試調高蝕刻液的PH值至8.3左右。

適度的調高蝕刻溫度﹑降低蝕刻比重都可以調高蝕刻速率。

順便問下貴司蝕刻液比重控制在多少﹖

母液有点粘稠可能因貴司生產不連續或是停線時抽風未及時關閉導致﹐

處理方法為添加子液﹐調整蝕刻溢流(蝕刻各參數需控制工藝參數內為前提)。

bmbhkao · 发表于 2008-9-24 21:38:00

可能不是蚀刻的问题！有图片吗？时不是像我们公司出现的线路狗牙一样！

hblilei168 · 发表于 2010-9-20 18:00:22

狗牙状的應該為前制程顯影過度導致。至于蝕刻速率底﹐你可以嘗試調高蝕刻液的PH值至8.3左右。適度的調高蝕刻 ...
西門飄雪发表于 2008-9-1 16:19

有建改

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