[求助]酸性蚀刻毛边增大现象

ltcamel · 发表于 2009-4-11 17:10:00

各位大虾，小弟最近在酸性蚀刻工序遇到了一个问题，查了很久都没有解决，恳请各位的指点：

酸性蚀刻参数 Cu2＋：130～150g/L HCL:2.0～2.2N Temp:50度 ORP：550mv 上压:3.0Kg/cm2 下压:2.0Kg/cm2

药水体系：氯化铜体系再生系统：盐酸、氯酸钠

问题：

在蚀刻过程中发现线路毛边比较大，线路朝上朝下蚀刻1OZ单边都达到0.4～0.6mil，之前可以做到0.2mil；是使用同一槽补充液也会出现此现象。

已检查项目;

1、压力、药水浓度、温度均正常

2、尝试将下压力调高2.2、2.4、2.6Kg/cm2 试板没有明显改善

3、检查喷嘴无堵塞现象，无漏水现象

4、尝试将ORP设定调高到580mv无明显改善

小弟已经技穷了，请各位大大不吝指点！

hou123liao · 发表于 2009-4-12 08:26:00

药水的再生系统呢？

ltcamel · 发表于 2009-4-13 20:26:00

楼上的请教药水的再生系统如何判断是否正常？

我所能判定的是通过观察药水颜色来看系统是否正常，在连续生产过程中，药水始终带绿色，是否可以说再生系统正常？

gu2003ling · 发表于 2009-4-14 20:22:00

1.酸当量过高

2.温度过高

我们车间用的一样的系统，酸值1.1N，温度45度，Hoz的基本没毛边，1oz的毛边0.1~0.2

问一下楼主，1oz的蚀刻线速多少，槽长多少

你酸值和温度这么大，线速应该很快，当然会有毛边

lichizhan · 发表于 2009-4-27 11:16:00

你的问题主要是在酸当量上，但是我忘了是高了小还是低了小，好像是高一些会毛边小一些

ting_0514 · 发表于 2009-4-29 22:49:00

将ORP设定调高到620mv 将酸当量调整到1-1.2,温度还可以,我司使用的是49-53度.

elick0901 · 发表于 2009-6-28 10:14:00

你的显影缸浓度控制在范围内了吗？曝光能量有没有控制好？

hgyangyong · 发表于 2009-6-28 10:32:00

[em08]

tony制程工程师 · 发表于 2009-7-2 21:38:00

4楼的,你家用的是什么设备跟药水啊.

1oz的毛边可做到0.1-0.2mil,天呢.这样也太好了吧...

能不能把参数告诉我一下,我也试一下.

但是按道理来将,比重越高,速度会快啊.

dengkingring · 发表于 2009-7-2 23:32:00

超强啊,能做到0.2mil,怎么测的?

我们1个OZ的,线顶和线底要差0.02mm呢

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