怎么提升内层微蚀速率

tony制程工程师 · 发表于 2010-1-26 22:16:00

各位大哥,小弟在此有事求教.

我们目前内层使用的是h2so4和h2o2及安定剂搭配,化验结果三种药水均正常,但微蚀速率为何还是提不上莱,目前只能达到20微英寸左右,如何才能将微蚀速率提升到30左右.

感谢了。

czx · 发表于 2010-1-27 21:58:00

CU浓度呢?

johnsongeng · 发表于 2010-1-30 22:42:00

换缸保留？原液

innocentfu · 发表于 2011-7-11 14:26:48

麻烦把槽液参数说一下，还有，就是槽液的铜离子浓度，氯离子浓度？？？

显示全部楼层 · 发表于 2011-7-16 12:39:23

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g_zhixiao 该用户已被删除	发表于 2011-7-16 12:39:23 \| 显示全部楼层提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽
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