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关于碱性蚀刻与酸性蚀刻的优缺点

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发表于 2011-4-14 08:53:40 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教一个问题,我们公司目前用的是酸性蚀刻,可是有一个新项目要求用碱性蚀刻,各位高手能否告诉一下关于碱性蚀刻与酸性蚀刻的优缺点吗?多谢
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发表于 2011-4-16 15:53:21 | 显示全部楼层
DES工艺和SES工艺的区别。
蚀刻速率的区别。
侧蚀量得区别
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发表于 2011-9-28 12:27:58 | 显示全部楼层
xuexile,百度里面貌似有酸性蚀刻碱性蚀刻的优缺点,你找下~~
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发表于 2011-10-22 15:05:29 | 显示全部楼层
sassssssssssssssssssssssssssssssssss
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发表于 2011-10-22 18:39:21 | 显示全部楼层
Tenting Process        Pattern Process
短路        比例低(可檢修)        比例高(可檢修)
銅渣        比例高(可檢修)        比例低(可檢修)
缺口        比例高                   比例低
斷路        比例高                   比例低
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发表于 2011-11-1 22:30:00 | 显示全部楼层
不明不明,可否详细点
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