PTH孔口起泡分层

tujianye · 发表于 2012-5-25 21:32:57

各位高手请教一下PTH在使用过硫酸钠+硫酸体系的微蚀在沉铜后会出现孔口位置有流泪状的物质，并且会分层。了解其他的公司都是如此没有出现该问题，图片没有拷过来，帮手解读解读。谢谢

huifang · 发表于 2012-5-26 12:48:56

这种微蚀体系配置很普遍。
最好给图片看看。再者提供下你们产线的微蚀量。

fymeng · 发表于 2012-5-26 16:48:17

看看除油后水洗，除油后水洗没有清洁干净，会影响微蚀的，因为除油药水多属于双极性成分。我遇到过沉金表面工艺，除油除了问题，结果微蚀后孔口发粗严重。图片暂时未找到。

tujianye · 发表于 2012-5-29 09:53:23

不好意思，今天才把图片上传，各位高手给看看。谢谢。另外微蚀速率是在控制0.6-1.2UM/MIN之间，除油后面有一个热水洗加上两道双水洗，共三道水洗，应该不会造成该现象我们当时也是怀疑此处，后面跟进发现与此处关联不大。

hsp781223 · 发表于 2012-5-30 13:54:22

先测量下微蚀量再说

小辈 · 发表于 2012-5-30 21:45:41

顶起，期待高人指点！

ricky_ho · 发表于 2012-5-30 22:56:39

建议更换易清洗的除油剂系列试验，以上所提及微蚀深度已达到工艺需求。

fymeng · 发表于 2012-6-2 12:40:03

这种情况，我还是觉得和微蚀前的除油有关，你可以用报废板或测试板跳过除油试下。

manu11 · 发表于 2012-6-6 12:20:24

这种微蚀体系配置很普遍。
最好给图片看看。再者提供下你们产线的微蚀量。

		自动登录	找回密码
密码			注册