求DES线蚀刻均匀性差的解决方案

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求DES线蚀刻均匀性差的解决方案

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1、检查喷嘴，确认喷嘴无堵塞；
2、做铜破试验，铜破率为40%-60%；
3、当铜破率NG时，调整压力使之调试合格；
4、做蚀刻均匀性测试；
5、一般，只要做好以上几点，均匀性就能调试好，调好后，后续应保持压力的一致性；
6、如实在还不行，联系设备商来厂调试。