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蚀刻后线路锯齿(二铜工艺)

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发表于 2012-8-31 11:15:42 | 显示全部楼层 |阅读模式

蚀刻后线路锯齿(屋檐状),主要集中在密集线路,现干膜使用闪射光曝光机,日立干膜能量做6格(线路线宽设计只有3mil,能量不敢做高)

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发表于 2012-8-31 14:38:33 | 显示全部楼层
这磨的是什么面啊,你先思考下乍磨出那锯齿面啊,
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发表于 2012-8-31 16:26:17 | 显示全部楼层
向表達什麽意思???

設備也沒有列舉》???
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发表于 2012-8-31 22:32:36 | 显示全部楼层
做3mil线路,用散射光曝光机太勉强
先改善设备的制程能力吧
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 楼主| 发表于 2012-9-3 11:51:05 | 显示全部楼层
想表达的就是,蚀刻后线路锯齿,以上是线路锯齿处的切片图,想请教各位,主要造成的原因有哪些?线路锯齿主要集中在密集线路,
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发表于 2012-9-12 23:16:02 | 显示全部楼层
这很常见啊,蚀刻时药水往下攻击,正常应该是个梯形,但是继续攻击的话因铜面上有锡保护,最表层攻击较小,而药水在线路间形成回旋咬噬,镀铜层中部受攻击大,就成这样了,建议把查看蚀刻药水浓度是否在正常范围内,或调整线速,抽风等
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