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楼主: karlzhxw

蝕刻均勻性的控制

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发表于 2011-3-15 23:27:09 | 显示全部楼层
同意3楼的   
  我们厂 主要是 镀铜不均
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发表于 2011-3-16 23:48:25 | 显示全部楼层
第一,先控制好电镀铜的均匀性
第二,调好蚀刻均匀性,要做到95以上
第三,不要轻易去动喷淋喷嘴
第四,补偿要最优,曝光精度要提高
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发表于 2011-5-17 10:55:50 | 显示全部楼层
同意以上观点
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g_zhixiao 该用户已被删除
发表于 2011-6-15 09:03:56 | 显示全部楼层
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