[求助]碱性蚀刻问题请教！

itwyj

氯离子低了.因你铜有151G/L,CL至少要190G/L.再调整PH到8.4就会快些了.

quhuo55

你说的太对了

jasonwang437

严重同意说干膜工序问题的同志，白荣生有一篇文章专门介绍这个问题，一是干膜问题，二是剥膜不干净，其实还有干膜收缩的原因，形态都不一样，呵呵。

zjr199

狗牙状的應該為前制程顯影過度導致。
至于蝕刻速率底﹐你可以嘗試調高蝕刻液的PH值至8.3左右。
適度的調高蝕刻溫度﹑降低蝕刻比重都可以調高蝕刻速率。
順便問下貴司蝕刻液比重控制在多少﹖
母液有点粘稠可能因貴司生產不連續或是停線時抽風未及時關閉導致﹐
處理方法為添加子液﹐調整蝕刻溢流(蝕刻各參數需控制工藝參數內為前提)。