很多原因
看看DESMEAR
清洁平整槽后水洗
微蚀速率,微蚀后水洗
活化等
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我也有这样的经验
这个问题呢,有很多原因造成的,主要为:
1、PTH线活化缸被污染————更换即可
2、振动太强————减小即可
3、沉积过快—————注意控缸各参数及过滤
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