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求助干膜上铜

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发表于 2011-6-21 23:19:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
近期后制程的检验单位反馈电镀后铜渣不良趋势有上升,取不良板切片发现,铜渣在干膜上,询问药水厂商之解决办法:
1:降低铜槽光泽剂浓度,让其保持在中值偏下;
2:提高微蚀槽之微蚀量,增加表面清洁作用;
请教各位前辈,针对于此项不良,有无什么好点的解决方案;
PS:不良板之流程为:黑孔---干膜---二铜蚀刻
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发表于 2013-10-28 10:43:10 | 显示全部楼层
此问题我们以前处理过
最后原因是干膜显影机里面污垢太多
滑滑的一层
用盐酸炸缸体
尤其是水洗槽合显影槽
连续搞两周(两次)即可
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