DES工序常见的污染问题

johnke

显影或水洗缸经常发现难以除去的不明污染物，经统计有以下三类：
1）白色沉淀物:

图1.含碳、氧、钙三种元素

2) 泥状沉淀物：

图2.含铝、硅、氧、钙、铁、碳
3）乳胶状附着物：

图3.含硅、氧、碳、钠

johnke

进一步红外光谱分析已经明确物质类型，只不过先提供部分数据供更有经验的PE工程师讨论，看有什么高见和补充！

skyxu

楼主：
看这几个图片应该是某个公司遇到开路问题，因为以上异物会导致堵塞过滤网造成水洗压力不足造成开路。
镀铜时堵塞孔壁，因为这些物质去处不尽会吸附在孔壁很难去除。
应该正常显影段的药水成分都被你分析到了！
学习了！