求助：蚀刻后圆形残铜

chenhs@teg.cn · 发表于 2014-7-31 14:50:36

近期蚀刻后出现一种现象：残铜、圆形、非常规则的圆形、蚀刻的残铜剩余铜厚为6-8um左右（1/2OZ基铜），20-30%产品上有此现象，每块板上几个残铜点。
我们做分段试验，确认是板电造成的，每周拖缸时间长点会好点，但一直不能杜绝。
哪位高手碰到过类似问题，请支招啊。

图片传不上来，不知怎么回事？

z2246499957 · 发表于 2014-11-10 11:37:09

建议发个图片，看看

fymeng · 发表于 2014-11-10 12:37:14

圆有多大？然后试下定量蚀刻，即蚀刻量控制约刚好蚀掉板电层，确认是否存在圆形高残铜区。供参考。

wind_ant · 发表于 2014-11-27 17:42:19

发个FM图片过来看看

季后新 · 发表于 2014-12-1 09:04:17

切片分析是否为渗渡？可能光泽剂攻击干膜造成

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