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[已解决问题] 等离子蚀刻机是什么

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发表于 2020-3-31 10:04:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
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发表于 2020-6-22 12:57:44 | 显示全部楼层
谢谢楼主分享呀
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发表于 2020-7-6 09:48:57 | 显示全部楼层
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