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干膜浮离.各位大虾救命

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发表于 2004-8-21 02:06:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
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发表于 2004-8-21 10:41:37 | 显示全部楼层

1、化学粗化的效果如何?

2、压膜的条件如何?

再检查检查吧

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发表于 2004-8-21 10:53:25 | 显示全部楼层

1、帖膜前銅面情況怎樣;

2、檢查帖膜時的溫度、壓力是否達到要求;

3、檢查壓轆是否有空洞、不平行現象(建議作一下空壓試驗);

4、測一下暴光機的能量分布;

5、用90303215的干膜測試暴光能量;

6、顯影之前分析藥水,並作一下露銅點測試;

試試看或許對你有幫助。

[em05][em05][em05]
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发表于 2004-8-22 09:09:38 | 显示全部楼层

我们现在用的日立干膜也有同样问题,现已暂停买他们的干膜.

[em05]
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发表于 2004-8-22 14:48:15 | 显示全部楼层

1.来料怎么样?

2.你自己的参数没问题吧?

3.对药水进行化验分析。

4.找原因出在什么地方

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发表于 2004-8-22 16:14:05 | 显示全部楼层

请教,干膜浮离是指啥,能说具体点麽?

我公司有这种情况,在用网格填充Ground时,有时会有很小的得间隙, 就是很小很小的镂空网格,在显影后有很小的干膜屑,和干膜质量无关

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发表于 2004-8-22 17:23:13 | 显示全部楼层
可以尝试粘点水贴膜,试一下,另外压力和温度一定要高出标准一点
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发表于 2004-8-28 14:09:53 | 显示全部楼层

关于日立的干膜,我们现在一直在用,很好用的。

至于显像时有干膜浮离更是未曾有过的。

不过即然是浮离,再者曝光没有问题。我想问题应该在干膜与基板的结合力方面吧

所以对其的清洁与粗化需要着重确认一下。

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发表于 2004-8-31 11:13:00 | 显示全部楼层
还是看一下贴膜条件吧,会不会是速度太快或压碌温度底了?
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发表于 2004-8-31 14:59:42 | 显示全部楼层
倘若是一批里面只有前面的产品,20片以下,并且经常出现,请注意贴膜后停放时间不得少30分钟,曝光后亦不例外。
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