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酸性蚀刻线宽控制问题

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发表于 2006-3-5 00:36:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问各位,我公司现在一块内层板N个单元过酸性蚀刻,发现板朝上方向,中间单元和板边单元线宽相差1mil,请问如何调制均匀,(板朝下方向线宽均ok)
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发表于 2006-3-5 19:49:00 | 显示全部楼层

这个好象是和那个机器的喷嘴压力有关系的,一般来说中间的压力应该要大一点,两边的压力要小一点,不然的话,会有“池塘效应”

中间的药液因为压力过小,被周围包围起来,不容易补充新的药液,所以可能中间的线宽点,

调整的话,可以叫药水的供应商来解决。

[em01][em01]
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发表于 2006-3-5 19:51:00 | 显示全部楼层
板子朝下由于重力的作用,不会有“池塘效应”[em01]
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 楼主| 发表于 2006-3-6 22:55:00 | 显示全部楼层

有没有人懂啊?难道没人知道吗?都没有遇到过这样的情况吗?

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发表于 2006-3-7 12:26:00 | 显示全部楼层
你把des線的具體情況講給大家啊,否則大家只能幫你推測水池效應的,你的des有幾槽,每槽有幾組噴管,噴管的壓力是否全是扇型的?另外有沒有料號區別還是板子一面是大銅面一面是線路的
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发表于 2006-3-7 12:27:00 | 显示全部楼层
具體層別好,大家在談啊
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 楼主| 发表于 2006-3-7 19:33:00 | 显示全部楼层
DES 有两个缸,一个主缸(500L),一个辅助缸(300L),一个总的压力表控制主缸(上喷),一个总压力表控制下喷,辅助缸也是一样,后面还有个补偿段8排喷管(向下喷),每个喷管上面10个喷嘴,但向上喷的没有喷管.现在有一款板,两面图形是一样的,但是发现板朝上方向,中间单元和板边单元线宽相差1mil,请问如何调制均匀,(板朝下方向线宽均ok).
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 楼主| 发表于 2006-3-7 19:34:00 | 显示全部楼层
扇型喷嘴.两面线路
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发表于 2006-3-8 20:42:00 | 显示全部楼层
是什么样的基材啊~~~~~,常规介质的基材还是薄介质基材
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发表于 2006-3-13 13:19:00 | 显示全部楼层

蚀刻很难控制

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